夏普發布氧化物TFT液晶面板技術
2009-12-17
依馬獅廣電網
最近,夏普在顯示器技術國際學會“16th International Display Workshops(IDW ’09)”的氧化物TFT分會上,發布了其首次試制的氧化物TFT液晶面板技術,并在開發者見面會(Authors interview)上演示2.6英寸QVGA(320×240像素)面板。
TFT結構為傳統的反向通道蝕刻(Back Channel Etch)型。氧化物半導體采用IGZO(In-Ga-Zn-O)。
特性偏差方面,通過對320mm×400mm底板上的21個點進行測量,遷移率μ=13.4±0.9cm2/Vs(σ=0.5),閾值電壓Vth=3.0±0.4V(σ=0.2)。對于人們關心的可靠性,夏普稱基于DC偏壓應力的Vth偏移在25℃下為非晶硅(a-Si)TFT的1/4左右程度,在85℃下是其1/10左右。基于脈沖偏壓的Vth偏移在60℃下為a-Si TFT的70%左右。該公司稱,作為液晶面板工作時,在60℃條件下,其TFT特性1000小時內不會發生變化。
夏普
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