“可快速提高有機EL和4K（UHD）液晶等新型面板的制造成品率，縮短市場投放周期”。在“中國·北京2016國際顯示產(chǎn)業(yè)高峰論壇”（11月1～2日）上，美國應(yīng)用材料公司（Applied Materials，AMAT）AKT顯示事業(yè)部、產(chǎn)品技術(shù)部總經(jīng)理Peter Nunan發(fā)表演講，介紹了這樣一種新型檢測裝置。

應(yīng)用材料公司AKT顯示事業(yè)部、產(chǎn)品技術(shù)部總經(jīng)理Peter Nunan在發(fā)表演講

　　據(jù)介紹，由于有機EL及4K液晶等先進(jìn)顯示器需要的工序增加，隨之產(chǎn)生的污染物質(zhì)也不斷增多且微細(xì)化，新型缺陷也就越來越多。此前檢查這些缺陷通常使用內(nèi)聯(lián)（IN-LINE)自動光學(xué)缺陷檢測裝置，但在鑒別致命缺陷（重大缺陷）及確定缺陷根本原因方面能力不夠。

　　另一方面，如果利用掃描型電子顯微鏡來分析，雖然可能鑒別出致命缺陷，確定根本原因，但必須弄碎玻璃基板，利用顯微鏡逐個觀察碎片。因此會浪費大量時間和成本，而且，即便發(fā)現(xiàn)缺陷，也基本無法判斷這塊碎片是屬于原面板的哪個部分。

　　AMAT此次充分利用在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域積累的技術(shù)，開發(fā)出了無需破壞基板即可確認(rèn)高分辨率SEM像的內(nèi)聯(lián)電子束檢視（EBR）系統(tǒng)。該技術(shù)通過組合半導(dǎo)體缺陷檢查中采用的SEM技術(shù)和顯示器用大型真空平臺而實現(xiàn)。如果使用該內(nèi)聯(lián)EBR裝置，可快速高效查明致命缺陷的根本原因，采取相應(yīng)的對策。據(jù)該公司介紹，利用該系統(tǒng)可在短期內(nèi)提高有機EL及4K液晶等新型面板的制造成品率，并快速向市場投放，而且還可避免因成品率變動而造成的成本增加。

　　關(guān)于該EBR裝置，該公司表示，“在全球排名前十的面板廠商中，已接到6家公司的訂單”。其中一家便是中國知名廠商天馬微電子。Peter Nunan在此次演講中表示，天馬副總裁馬駿評價該產(chǎn)品稱，“可縮短天馬武漢工廠的量產(chǎn)啟動期限，快速向市場投放更先進(jìn)的顯示器產(chǎn)品”。