“可快速提高有機EL和4K（UHD）液晶等新型面板的制造成品率，縮短市場投放周期”。在“中國·北京2016國際顯示產業高峰論壇”（11月1～2日）上，美國應用材料公司（Applied Materials，AMAT）AKT顯示事業部、產品技術部總經理Peter Nunan發表演講，介紹了這樣一種新型檢測裝置。

應用材料公司AKT顯示事業部、產品技術部總經理Peter Nunan在發表演講

　　據介紹，由于有機EL及4K液晶等先進顯示器需要的工序增加，隨之產生的污染物質也不斷增多且微細化，新型缺陷也就越來越多。此前檢查這些缺陷通常使用內聯（IN-LINE)自動光學缺陷檢測裝置，但在鑒別致命缺陷（重大缺陷）及確定缺陷根本原因方面能力不夠。

　　另一方面，如果利用掃描型電子顯微鏡來分析，雖然可能鑒別出致命缺陷，確定根本原因，但必須弄碎玻璃基板，利用顯微鏡逐個觀察碎片。因此會浪費大量時間和成本，而且，即便發現缺陷，也基本無法判斷這塊碎片是屬于原面板的哪個部分。

　　AMAT此次充分利用在半導體制造領域積累的技術，開發出了無需破壞基板即可確認高分辨率SEM像的內聯電子束檢視（EBR）系統。該技術通過組合半導體缺陷檢查中采用的SEM技術和顯示器用大型真空平臺而實現。如果使用該內聯EBR裝置，可快速高效查明致命缺陷的根本原因，采取相應的對策。據該公司介紹，利用該系統可在短期內提高有機EL及4K液晶等新型面板的制造成品率，并快速向市場投放，而且還可避免因成品率變動而造成的成本增加。

　　關于該EBR裝置，該公司表示，“在全球排名前十的面板廠商中，已接到6家公司的訂單”。其中一家便是中國知名廠商天馬微電子。Peter Nunan在此次演講中表示，天馬副總裁馬駿評價該產品稱，“可縮短天馬武漢工廠的量產啟動期限，快速向市場投放更先進的顯示器產品”。